Pour que l'oxygène se forme en ozone, les molécules d'oxygène doivent être craquées et reformées. Il faut pour cela de l'énergie sous forme de stimulation électrique de l'oxygène qui désassemble les molécules d'oxygène. Cela se fait généralement avec des générateurs d'ozone à haute tension (décharge corona). Une fois séparées, la plupart des molécules reviendront à la forme stable d'oxygène. Cependant, une partie de l'oxygène est convertie en ozone dans ce processus. Ce processus nécessite beaucoup d'énergie pour craquer la molécule et obtenir un faible flux d'ozone concentré. Si l’air est utilisé, les générateurs consomment beaucoup plus d’énergie qu’en utilisant de l’oxygène pur en raison de l’énorme concentration de gaz inertes comme l’azote. Les procédés à l'oxygène pur sont plus efficaces en raison de la concentration en oxygène. Parallèlement, la concentration d'ozone peut être augmentée de 3 à 4 % avec de l'air à 12-14 % avec de l'oxygène en utilisant trois fois moins d'énergie. Le débit d'ozone concentré élevé est également plus efficace en termes de transfert de masse pour d'autres utilisations.