Xénon pour la fabrication de semi-conducteurs et de puces mémoire
Le xénon est utilisé pour la gravure et le dépôt de puces dans la fabrication de semi-conducteurs, à la fois comme atmosphère, plasma et comme source de faisceaux d'ions pour les processus de gravure et de dépôt. Le xénon utilisé dans ce procédé doit être très pur, car toutes les impuretés finiront par contaminer le substrat de silicium ou réagir avec les produits chimiques du procédé comme le fluor pour produire du fluorure d'hydrogène (HF) toxique et hautement corrosif. En tant que leader mondial dans la maintenance de l’industrie électronique, le xénon Air Products est produit dans notre usine d’électronique de pointe pour une meilleure assurance qualité. Il peut être utilisé dans les lasers à excimères, les gaz tampons laser, la gravure de DRAM et de panneaux d'affichage NAND 3D et plasma.
